CG20260625005
2026-07-01 00:00
中科实验装备（广东）有限公司
ICP刻蚀机及磁控溅射镀膜机二次配-成交公告
发布时间：2026-09-22 16:34
| 序号 | 物品名称 | 品牌/生产商 | 指标需求 | 计量单位 | 采购数量 | 交货周期 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ICP刻蚀机及磁控溅射镀膜机二次配 | Harex | 为了保证阿里原初引力波焦平面探测器批量生产工作的顺利进行，需要为ICP刻蚀机及磁控溅射镀膜机设备提供气体供给、尾气真空排放及冷却循环水的整体管道系统。本次采购内容包含：气体供给管道系统和尾气真空排放系统及冷却循环水管道系统的管材采购、安装、及调试服务工作，管道范围为从原有管道位置到末端设备使用点。数量详见附件《ICP刻蚀机及磁控溅射镀膜机二次配工程量清单》。技术要求详见附件《ICP刻蚀机及磁控溅射镀膜机二次配技术要求》 | 套 | 1 | 合同签订后1个月内 |